工研院離職員工A先生向本刊透露，機台是由工研院的材料化工研究所採購而來，因涉及原子層蝕刻技術，業界有關該類設備行情價約為1千萬元上下，但工研院採購列帳金額為「6,666,666元」，遠低於該機台市場價約4至6成；且採購廠商僅為機台供應商，於交機時也未清楚交代零組件產地，此採購案的驗收程序是否過於輕率？值得探討！
另外，知情人士B先生也指出，向工研院提供機台的供應商團隊負責人，是原屬一個長期從事ALD應用技術研究的學術單位成員，但他私自在外成立公司，直到去年8月離任後，陸續有原團隊成員反映，這家供應商使用的「半導體測試晶片及其製作方法」等專業技術，與其實驗室研發成果具高度重疊性，質疑這名負責人侵權、剽竊技術作為其個人商業利益使用。
據了解，投訴人已將相關情事均已透過管道向工研院內部進行檢舉，並把資訊提供給國安、調查等情治單位知悉。
針對指控，工研院發出四點說明如下：
一、 有關本院與該機台供應商採購之「電漿輔助原子層沉積設備」一案，是基於本院先期自行研究需要，以院內自有研發經費進行採購。
二、本案依本院採購辦法，採公開招標方式辦理，流程皆依相關法令及規範執行，投標廠商須簽署「投標廠商聲明書」，承諾非陸資相關廠商，且無涉及國安疑慮，始符投標資格。依經濟部商業司商工登記資料顯示，該公司無大陸投資人、無僑外資。
三、經查，該機台供應商具有服務國內業界之經驗，具多項專利，並於2021年獲得台北市政府「SiTi臺北市產業發展獎勵補助計畫」研發補助。而其負責人亦有相關技術觀點公開發表。
四、本院對於該事件，秉持勿枉勿縱精神，進行調查中。若發現違法違約情形，必將依法依約究責。至於該公司與其他廠商糾紛，以及其員工侵權爭議，本院並無所悉，亦不便置喙。
