距離台灣1.1萬多公里遠的美國亞利桑那州,被奉為「護國神山」的台積電,從2021年前往當地首府鳳凰城設廠至今,一度因人才不足、工會問題進度卡關,沒想到今年4月中出現戲劇性轉折,美國商務部宣布提供六六億美元補助,一舉拉高台積美國投資金額至650億美元,還將啟動美國3廠興建;此外,台積電的日本熊本廠,也獲日本政府支持,今年2月宣布將興建2廠,海外擴廠正如火如荼展開。
「TSMC Arizona 晶圓廠將以相同全球願景設計和建造,實現9成水回收率,並以達淨零液體排放目標,要讓幾乎每一滴水都能於廠內再被利用。」仔細閱讀台積電獲美補助長達1千多字的新聞稿,文末倒數第2段,慎重宣示水利用目標。
「台積電一直以來,就相當重視水資源風險管理,亞利桑那州是沙漠區,理當會採用這樣的管理策略以解決缺水挑戰。」DIGITIMES分析師余佩儒向本刊分析。
余佩儒更指出,半導體業的生產過程如光學顯影、蝕刻、薄膜沉積等步驟,都需要大量用水與用電,以及多種原材料和化學品,隨著半導體製程越趨複雜,各類化學品材料種類及用量增加,從晶圓清洗至無塵環境的維持,「水資源」利用將扮演越來越關鍵的角色。
除了水資源利用,先進製程產生的化學廢棄物量較以往大增1.5至2倍,在環保法規越趨嚴格下,也成了廠商眼中一門「回收」好生意。