「半導體先進製程產生粉塵越來越多,需要提供除粉塵設備,目前銳澤正在研發中,預計明年上半年可至客戶端進行樣品測試,預計明年下半年能提供新式設備漂亮成績單」,銳澤總經理周谷樺開心說到。
據了解,新型半導體粉塵氣固分離裝置,利用主動式氣旋分離粉塵避免堆積在管壁中,解決半導體產業之粉塵堵塞問題,同時避免Sub-Fab端管道粉塵堵塞造成設備無預警當機,能將PM2.5粉塵的去除率提高至95%以上,平均效率提升58%,有效解決在奈米製程下面臨的尾氣汙染問題。
周谷樺表示,以既有半導體處理的架構,大多是用濕製程的方式,透過液體去溶解,將粉塵帶到水溶的儲存槽進行處理。但因半導體製程越來越先進,粉塵數量越來越多,水洗的粉塵效率就變差,因此產生氣固分離概念,透過乾製程的設計結構,無須用額外的水、電就能將粉塵隔離,透過這種方式,不僅能省水還能省電。
這個半導體粉塵氣固分離裝置算是Local Scrubber(尾氣處理設備)的一環,一般的Local Scrubber會同時具備除粉塵、除毒氣的功能。而銳澤推出的這款氣固分離裝置,比較是Local Scrubber前的一道製程,只專精於除粉塵用途。
周谷樺透露,一個12吋晶圓廠通常會需要300~400台的Local Scrubber,只要是Local Scrubber需要的數量,氣固分離裝置就需要多少數量,這也是銳澤看中的商機。
除粉塵與除毒害是兩件事,如何透過不同組合將有毒物和粉塵全部除去,對排放標準來說才是全部合格。目前在半導體生產過程去除毒害的達到效果,各界較無疑慮,可以透過燃燒、電熱水洗、觸媒等方式實現。周谷樺透露,未來銳澤不排除研發除毒害的技術,但因為市場已有多家業者生產製造,未來可能採合作方式,將其氣體分離器整合到合作夥伴的Local Scrubber設備當中。