東京威力科創總裁張天豪指出,邏輯代工(先進製程)、先進封裝與高頻寬記憶體技術墊高了晶片製造的門檻,也間接提升了設備的重要性。舉例來說,在邏輯代工上,晶片製造的結構已經不是3D,而是從FinFET改成米片(Nanosheet),意味著新的邏輯技術要怎麼推廣成微縮非常重要。
張天豪接著表示,而在先進封裝上面,也已經不在是傳統認知的打線封裝,或在軟板上封裝,而是接近於前端製程需求的設計方式,如何將不同晶片異質整合在同一個晶片結構上,甚至晶圓對晶圓堆疊上,每個接點都需要精準對位,這都已經不在是傳統的封裝供應鏈可以因應,這也是為什麼該公司持續投入龐大研發經費的原因。
「工欲善其事、必先利其器」,面對上述這些不同的新製程技術的需求,設備在其中扮演重要的角色。張天豪舉例,在晶片微縮上,要將非常細微的圖案(pattern)刻畫出來,就需仰賴塗佈顯影設備和電漿蝕刻設備來實現。
從市場佔有率來看,東京威力科創已在多個設備產品類型取得全球第一、第二名的市場地位,包含塗布/顯影機、洗淨、電漿蝕刻、氣體化學蝕刻、批次沉積、金屬沉積與晶圓測試等,全面滿足半導體製程中黃光、蝕刻、薄膜、擴散到測試相關應用。
張天豪談到,該公司在台灣深耕27年,除了持續擴充新竹研發中心外,台南設立的營運中心,預計在12月初落成,其規模預計能容納1千多位員工。而在高雄也有設立據點,服務當地如台積電、日月光、華邦等客戶。
面對今年下半年東京威力科創的機台出貨狀況,張天豪透露,下半年預估將比上半年好,主要客戶持續擴充設備,邏輯代工和記憶體相關設備會有大幅成長。